CMOS 프론트-앤드 공정기술

2016.04.30
1480

과목코드

주요연구

학점

과목구분

선수과목

EE.60065

Device

3

선택(석/박사)

집적회로 제조에 필수적인 미세패턴 형성, 실리콘 산화막의 성장, 불순물 확산, 이온 주입, 박막 형성, 상호연결, 패키징, 종합공정 및 새로 등장한 마이크로머시닝 기술 등 집적회로의 제조 공정을 다룬다.

권장과목